1、等離子體增強的結(jié)構(gòu)與原理圖：設(shè)備組成：加熱系統(tǒng)，Plasma系統(tǒng)，進(jìn)料系統(tǒng)，出料系統(tǒng)，氣體控制系統(tǒng)，低真空系統(tǒng)，氣料分離系統(tǒng)，過濾系統(tǒng)，爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)，電控操作系統(tǒng)。

 結(jié)構(gòu)圖

　　(1)加熱系統(tǒng)：該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號，同時系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報警保護(hù)功能，大大降低了對操作人員經(jīng)驗的要求。

     (2)Plasma系統(tǒng)：本系統(tǒng)借助于輝光放電產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中，電子密度高，通過反應(yīng)氣態(tài)放電，有效利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式。

　　(3)進(jìn)料系統(tǒng)：送料系統(tǒng)速度連續(xù)可調(diào)，停止送料且爐體傾斜最大時，物料不會從送料系統(tǒng)外漏，送料系統(tǒng)方便拆卸，拆卸后可手動加料，設(shè)備可正常運行。

　　(4)出料系統(tǒng)：出料系統(tǒng)在爐體傾斜出料時可自動出料。

　　(5)氣體控制系統(tǒng)：該控氣系統(tǒng)是可以控制兩種氣體按照不同流量進(jìn)行混合配比的，也可以獨立控制，質(zhì)量流量計安裝于密封的可移動的機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成。

     (6)低真空系統(tǒng):該系統(tǒng)配備真空機(jī)械泵，可以抽真空，可以讓設(shè)備在真空環(huán)境下進(jìn)行反應(yīng)。

       (7)氣料分離系統(tǒng)：該系統(tǒng)可以讓設(shè)備在充氣體保護(hù)或者抽真空時，實現(xiàn)氣體與物料的分離。

　　(8)過濾系統(tǒng)：該系統(tǒng)可防止物料進(jìn)入真空泵，保證真空泵的正常運行。

　　(9)爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)：爐管轉(zhuǎn)動系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時間運行。

　　3、連續(xù)進(jìn)出料等離子體增強回轉(zhuǎn)PECVD設(shè)備技術(shù)指標(biāo)：

　　(1)該設(shè)備爐管可360度旋轉(zhuǎn)，管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻;

　　(2)整個爐子和送料、收料系統(tǒng)能夠一起傾斜，方便出放料，傾斜角度在0~35°之間可調(diào);

　　(3)送料系統(tǒng)送料速度連續(xù)可調(diào)，停止送料且爐體最大傾斜時，物料不從送料系統(tǒng)外漏。送料系統(tǒng)方便拆卸，拆卸之后可以手動加料，設(shè)備可正常運行。

　　(4)爐管回轉(zhuǎn)穩(wěn)定，不會上下左右跳動;轉(zhuǎn)速在0~60r/min連續(xù)可調(diào)，能在60r/min轉(zhuǎn)速下連續(xù)長期運轉(zhuǎn)(>24h)。

　　(5)爐子轉(zhuǎn)速，加料速度，傾斜角度，真空度，氣體流量，溫度，運行時間，等離子體功率等參數(shù)都用數(shù)字顯示，并在運行過程記錄設(shè)備整個運行軌跡及上述參數(shù)(在工控及獨立電腦上均能實現(xiàn));

　　(6)設(shè)備運行可分為手動模式與自動模式;自動模式下可實現(xiàn)高度自動化運行，所有參數(shù)程序設(shè)定好后自動運行：可實現(xiàn)按照設(shè)定程序連續(xù)工作，可設(shè)置多工作段不同參數(shù)，并可進(jìn)行某工作段循環(huán)工作及某程序循環(huán)工作;